PTR200N萊寶真空計說明
PTR 200 N PENNINGVAC 係列真空變(biàn)送器可提供從 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴的較大測量範(fàn)圍,基(jī)於對 MEMS Pirani 矽芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性、壓電傳感器(qì)中矽膜的機械偏轉和冷(lěng)陰極 (CC) 電離(lí)電流的測量結(jié)果。
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器配備 RS232 數字通(tōng)信接口,可設(shè)定(dìng)變送(sòng)器(qì)參數並提供實時壓力測量。更多詳情,請(qǐng)參閱通信協議 300544663 (RS232)。
每台變送器在出廠前已(yǐ)逐台進行全量程測試(shì)。測試報告隨附(fù)在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數均在操作溫度範圍內逐一得(dé)到溫度補償。
變送器擁有三個機械繼(jì)電器,這些繼電器可用於過程控製,例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接(jiē)至外部模(mó)擬設備,獲取壓力讀數(shù),或(huò)進行壓力控製(zhì)。
傳(chuán)感器技(jì)術
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微(wēi)電子機械係統)) 傳感器(qì)元件基於熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻(zǔ)元件的矽芯片,其構成空腔的一個表麵。芯片頂部的(de)封蓋形成空腔的另一表麵。由於傳感器的(de)幾何形(xíng)狀,空(kōng)腔內無法進行對流,因此(cǐ),傳感器對安(ān)裝位置並不(bú)敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子隻到達熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗(hào)。
冷陰極反磁控管采用高電(diàn)壓(yā)陽極、陰極和永磁體。電子向(xiàng)陽極(jí)加(jiā)速,並將通過(guò)碰撞而(ér)使(shǐ)分子離子化。磁場(chǎng)使電子偏轉,從而使電(diàn)子在穿過磁場前往(wǎng)陽極(jí)時做螺旋形移動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子並使(shǐ)分子離(lí)子化的機(jī)會。
分(fèn)子離(lí)子化產生電流,該電(diàn)流是壓力的函數。這兩個傳(chuán)感器(qì)元(yuán)件均極為堅固耐用(yòng),可(kě)承受(shòu)較高重力和瞬間空氣湧入。
PTR200N萊(lái)寶真空計(jì)說明應用
變(biàn)送器可用於眾多不同領域的真空應用中,如:工業應用、研(yán)發、半導體、分析和塗料工業中:
一般真空壓力測量
氣體回填測量和控製
塗料
質譜儀控(kòng)製
係統過程控製
檢測異常壓力,利用設定點繼電器采取妥當的(de)安全措施
控製係統壓力
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