iH1800愛德華幹式泵維修

iH1800愛（ài）德華幹式泵（bèng）維修

iH1800 幹式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59040946

技術數據

峰值速度                 1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                 1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                 4 slm

進氣口連接                 ISO160

出（chū）口連接                 NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入                 4.1 kW

電機額定功率                 7.0 kW

油容量                         1.6 l

 Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標（biāo）準運行（háng）。通過延長使用壽命、提高運行時間並提高（gāo）生產率，同時大程度地減（jiǎn）小占地麵積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
 
iH 係（xì）列為難以執行的製（zhì）程（chéng）（如存（cún）在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 製程）提供了高（gāo）可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量（liàng）
平版印刷
PVD 製程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化（huà）
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

東莞市（shì）鴻鑫真空設備有限公司專（zhuān）業維修愛德華幹泵，愛德華半導體幹（gàn）泵，萊寶幹泵（bèng），愛發科幹泵（bèng），漢鍾（zhōng）幹泵，卡西雅瑪幹泵等幹泵維修（xiū）

東莞市鴻鑫（xīn）真空設備有限公司集生產銷售、安裝設計、維（wéi）修保養真空設備、真空氦檢漏儀及通用機械設備、精（jīng）密機械及自動化設備等產品的企業。公（gōng）司主要銷（xiāo）售（shòu）及維修（xiū）真空泵（bèng）品牌有：鴻鑫係（xì）列單雙級真空泵、鴻鑫螺杆及羅茨真空泵、德國LEYB0LD萊寶真空泵、德國BUSCH普旭真空泵、德（dé）國（guó）RIETSCHLE裏其樂真空泵、德國BECKER貝克真空泵、英國EDWARDS愛德華（huá）真空泵、日本ULVAC愛發科真（zhēn）空（kōng）泵、德PFEIFFER普發真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿*真空泵、美（měi）國AGILENT安捷倫（lún）真空泵等進口真空泵及真空係（xì）統。銷售真空泵配件：真空泵油、油霧分離器、排氣過濾器、葉片、碳（tàn）精片、油過濾器、進氣濾芯、空氣總成、散熱風扇、風扇葉、風扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮閥、視油鏡、密封套件、聯軸器、聯軸器墊等配件材。                                                 同時公司還經（jīng）營電子材（cái）料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶（táo）瓷線路板灌封膠等           

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