半導體PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養（yǎng）

半導體PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養

PS係（xì）列螺杆真空泵

定螺距螺（luó）杆轉子特點：

1、結構簡單，故障率低，成本較低，易維修

2、高壓段功耗相對低，適（shì）用於高負載應（yīng）用場合

3、排氣路徑短，減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱（rè）處理、太陽能產業、半導體麵板業製程

PS係列螺杆真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD係列螺杆真空泵型號（hào）：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣（qì）冷馬達機型可搭配自循（xún）環冷（lěng）卻係統，能使用在無冷卻水的係統環境

可提供符合ATEX標準的產品

變螺距螺杆轉子特點：

1，運行溫度低，適用於要求泵體表麵及排氣溫度低的場合。                2，運轉功耗低，適用於輕負載（zǎi）應（yīng）用場合，更節能。                        3，運行噪音更低，適用於運行噪音低的場合，如：貼合機，無塵室。

4，相同長度轉子，抽氣（qì）量（liàng）更大。適用於大抽氣量的真空（kōng）需求。

真（zhēn）空壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鍾PS係列、PD係列（liè）維修

維（wéi）修步驟：

1、螺杆泵來料檢驗，真空度、運行時間、振動值、驅動器、電氣參數。

2、全部拆卸（xiè），油汙清潔，打磨（mó）。

3 、按“螺杆泵維修處理通知（zhī）單"更換所必需的零件，如：軸承、軸套、套（tào）筒、密封圈、齒（chǐ）輪，以確保可靠的（de）優質服務和（hé）泵浦使用壽命（mìng）。

4、泵的平衡，利用平衡和分析設備，調試佳的狀態，以減少噪（zào）音、振動（dòng），延長（zhǎng）軸承壽命（mìng）。

5、測試檢查，參照原廠參數檢測，結合客（kè）人實際要求與螺杆泵磨損

PMF半導體幹（gàn）淨係列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF係列型（xíng）號（hào）有PMF100，PMF120，PMF612

半（bàn）導體PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養